Details

Title: Практикум по методам измерения свойств материалов микросистемной техники: учебно-методическое пособие
Creators: Тюриков Кирилл Сергеевич; Тюрикова Ирина Андреевна
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint: Санкт-Петербург, 2021
Collection: Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Subjects: Контрольно-измерительные инструменты и приборы; Материалы — Испытание на микротвердость; Эллипсометрия; Твердые тела — Пористость
UDC: 620.178(075.8); 681.785.35(075.8)
Document type: Tutorial
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 28.03.01
Speciality group (FGOS): 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
DOI: 10.18720/SPBPU/5/tr21-82
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\66576

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Учебное пособие «Практикум по методам измерения свойств материалов микросистемной техники» соответствует образовательному стандарту ООП дисциплины «Методы измерения свойств материалов микросистемной техники» направлению бакалаврской подготовки 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника». Учебное пособие «Практикум по методам измерения свойств материалов микросистемной техники» является практическим руководством по выполнению лабораторных работ по курсу «Методы измерения свойств материалов микросистемной техники». Рассмотрены лабораторные по освещаемым в ходе изучения дисциплины методам измерения свойств материалов микросистемной техники, а именно микротвердометрия, эллипсометрия, электрохимическое измерение пористости диэлектрических слоев, а также описана методика статистической обработки полученных результатов, вынесенная в отдельную работу. Каждой группе работ предписано краткое теоретическое введение, необходимое для самостоятельной подготовки студентов к эксперименту и измерениям, подробно описана методика проведения эксперимента и принципы обработки его результатов. Перед выполнением экспериментальной части работы студент обязан сдать коллоквиум по заданной теме. После допуска к экспериментальной части студент индивидуально выполняет одну из лабораторных работ по соответствующей теме и затем представляет полученные результаты и выводы в форме отчета.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
External organizations N2 All Read
External organizations N1 All Read
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
Internet Authorized users (not from SPbPU) Read
-> Internet Anonymous

Table of Contents

  • Введение
  • 1. Твердометрия и микротвердометрия
    • Основные узлы, устройство и схема действия ПМТ-3
    • Измерение диагонали отпечатка
    • Лабораторная работа №1. Измерение микротвердости методом Виккерса
      • Вопросы для самоподготовки
  • 2. Эллипсометрия
    • Устройство эллипсометра
    • Физические основы эллипсометрии
    • Поляризация электромагнитного излучения
    • Процессы, лежащие в основе определения толщины с помощью эллипсометрии
    • Период повторяемости эллипсометрических измерений
    • Обработка результатов измерений
    • Оптические узлы эллипсометра
    • Поляризатор и анализатор
    • Призма Волластона
    • Поляризационный компенсатор
    • Схемы измерения ψ и δ
    • Нулевая схема измерения параметров эллиптически поляризованного излучения (эллипсометр ЛЭМ–3М)
    • Ненулевая схема измерения ψ и δ в эллипсометре ЛЭФ-72
    • Лабораторная работа №2. Измерение толщины слоя диоксида кремния эллипсометрическим методом
      • Цель работы:
      • Задачи работы:
      • Порядок выполнения работы
      • Измерение на ЛЭМ-3М толщины слоя при 70º.
      • Многоугловые измерения на эллипсометре ЛЭФ-72
      • Расчет зависимости периода повторяемости от угла падения луча
      • Учёт числа периодов повторяемости
      • Последовательность действий для определения количества периодов повторяемости
      • Расчет толщины и показателя преломления слоя с помощью программы LEF-72 по углам ψ и δ, измеренным на ЛЭМ-3М.
    • Лабораторная работа №3. Анализ полученных эллипсометрических результатов методами математической статистики
      • Статистическая обработка результатов
      • Выполнение работы:
  • 3. Контроль пористости пленок
    • Лабораторная работа №4. Контроль пористости диэлектрических пленок
      • Порядок выполнения работы
      • Материалы отчетного документа
  • Список литературы

Usage statistics

stat Access count: 63
Last 30 days: 7
Detailed usage statistics