Детальная информация
| Название | Оптические свойства сегнетоэлектрических пленок Hf[x]Zr[y]O[2] и La : Hf[x]Zr[y]O[2] по данным эллипсометрии // Оптика и спектроскопия. – 2022. – С. 365-368 |
|---|---|
| Авторы | Кручинин В. Н.; Спесивцев Е. В.; Рыхлицкий С. В.; Гриценко В. А.; Mehmood F.; Mikolajick T.; Schroeder U. |
| Выходные сведения | 2022 |
| Коллекция | Общая коллекция |
| Тематика | Физика; Физическая оптика; сегнетоэлектрики; сегнетоэлектрические пленки; оптические свойства; эллипсометрия; показатели преломления света; спектроэллипсометрия; теория эффективной среды (физика) |
| УДК | 535.2/3 |
| ББК | 22.343 |
| Тип документа | Статья, доклад |
| Тип файла | Другой |
| Язык | Русский |
| DOI | 10.21883/OS.2022.03.52163.2477-21 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\68543 |
| Дата создания записи | 07.07.2022 |
В последнее время обнаружено наличие сегнетоэлектрических свойств наноразмерных пленок на основе оксида гафния. Такие пленки представляют большой интерес для разработки универсальной памяти, которая сочетает преимущества оперативной и флэш-памяти. В работе изучаются оптические свойства пленок оксида гафния-циркония Hf[x]Zr[y]O[2] и пленок оксида гафния-циркония, легированных лантаном, La : Hf[x]Zr[y]O[2]. Флуктуации толщины пленок Hf[x]Zr[y]O[2] не превышают 3.5%, флуктуации толщины пленок La : Hf[x]Zr[y]O[2] - 3.2%. Оптические свойства анализируются на основе теории эффективной среды. По данным теории эффективной среды пленки Hf[x]Zr[y]O[2] содержат 46% HfO[2], 54% ZrO[2], пленки La : Hf[x]Zr[y]O[2] содержат 47.5% HfO[2], 52.4% ZrO[2], 2.5% La[2]O[3].
Количество обращений: 48
За последние 30 дней: 6
