Детальная информация

Название Разработка слоев на основе оксида молибдена для полупроводниковых газовых датчиков // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2024. – Т. 29, № 2. — С. 139-146
Авторы Налимова С. С.; Шомахов З. В.; Мошников В. А.
Выходные сведения 2024
Коллекция Общая коллекция
Тематика Радиоэлектроника; Полупроводниковые приборы; полупроводниковые датчики; газовые датчики; молибден; оксид молибдена; гидротермальный синтез; фотоэлектронная спектроскопия; газочувствительные слои; semiconductor sensors; gas sensors; molybdenum; molybdenum oxide; hydrothermal synthesis; photoelectron spectroscopy; gas-sensitive layers
УДК 621.382
ББК 32.852
Тип документа Статья, доклад
Тип файла Другой
Язык Русский
DOI 10.24151/1561-5405-2024-29-2-139-146
Права доступа Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Дополнительно Новинка
Ключ записи RU\SPSTU\edoc\73652
Дата создания записи 04.09.2024

Разрешенные действия

Посмотреть

При разработке газовых датчиков важное значение имеет выбор подходящего газочувствительного материала. В настоящее время большой интерес представляют разработка новых газочувствительных слоев на основе оксида молибдена MoO[3] и улучшение их сенсорных характеристик. В работе газочувствительный слой MoO[3] получен гидротермальным методом с последующим отжигом при температуре 400 С в течение 2 ч. Элементный состав поверхности полученного образца проанализирован с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Проведены исследования сенсорного отклика, времени отклика и восстановления газочувствительного слоя к парам изопропилового спирта при различных рабочих температурах. Показано, что химический состав соответствует MoO[3], но на поверхности также наблюдаются адсорбированные гидроксильные группы. Анализ сенсорных свойств показал, что чувствительность при температурах 250 и 150 С составляет соответственно 13,3 и 5,5. Установлено, что синтезированные гидротермальным методом слои на основе наночастиц MoO[3] проявляют чувствительность к парам изопропилового спирта уже при температуре 150 С.

During gas sensors development the selection of an appropriate gas-sensing material is essential. Currently, the development of new gas-sensitive layers based on molybdenum oxide MoO[3] and the improvement of their sensor characteristics are of great interest. In this work, a gas-sensitive layer of MoO[3] was obtained by hydrothermal method followed by annealing at 400 C for 2 hours. The surface elemental composition of the produced sample was analyzed by X-ray photoelectron spectroscopy. The sensor response, response and recovery times of the gas-sensitive layer were studied to isopropyl alcohol vapors at different working temperatures. It was shown that chemical composition corresponds to MoO[3], but adsorbed hydroxyl groups are also observed on the surface. The analysis of sensor properties showed that the sensitivity at 250 and 150 C is 13.3 and 5.5 respectively. It has been established that the layers synthesized by the hydrothermal method based on MoO[3] demonstrate sensibility to isopropyl alcohol vapors even at 150 C.

Количество обращений: 16 
За последние 30 дней: 7

Подробная статистика