Details

При разработке газовых датчиков важное значение имеет выбор подходящего газочувствительного материала. В настоящее время большой интерес представляют разработка новых газочувствительных слоев на основе оксида молибдена MoO[3] и улучшение их сенсорных характеристик. В работе газочувствительный слой MoO[3] получен гидротермальным методом с последующим отжигом при температуре 400 С в течение 2 ч. Элементный состав поверхности полученного образца проанализирован с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Проведены исследования сенсорного отклика, времени отклика и восстановления газочувствительного слоя к парам изопропилового спирта при различных рабочих температурах. Показано, что химический состав соответствует MoO[3], но на поверхности также наблюдаются адсорбированные гидроксильные группы. Анализ сенсорных свойств показал, что чувствительность при температурах 250 и 150 С составляет соответственно 13,3 и 5,5. Установлено, что синтезированные гидротермальным методом слои на основе наночастиц MoO[3] проявляют чувствительность к парам изопропилового спирта уже при температуре 150 С.

During gas sensors development the selection of an appropriate gas-sensing material is essential. Currently, the development of new gas-sensitive layers based on molybdenum oxide MoO[3] and the improvement of their sensor characteristics are of great interest. In this work, a gas-sensitive layer of MoO[3] was obtained by hydrothermal method followed by annealing at 400 C for 2 hours. The surface elemental composition of the produced sample was analyzed by X-ray photoelectron spectroscopy. The sensor response, response and recovery times of the gas-sensitive layer were studied to isopropyl alcohol vapors at different working temperatures. It was shown that chemical composition corresponds to MoO[3], but adsorbed hydroxyl groups are also observed on the surface. The analysis of sensor properties showed that the sensitivity at 250 and 150 C is 13.3 and 5.5 respectively. It has been established that the layers synthesized by the hydrothermal method based on MoO[3] demonstrate sensibility to isopropyl alcohol vapors even at 150 C.