Детальная информация
| Название | Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие. — 3-е изд. |
|---|---|
| Авторы | Громов Д. Г.; Мочалов А. И.; Сулимин А. Д.; Шевяков В. И. |
| Выходные сведения | Москва: Лаборатория знаний, 2015 |
| Коллекция | ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru"; Общая коллекция |
| Тематика | Микроэлектронные схемы интегральные |
| УДК | 621.3.049.77(075.8) |
| Тип документа | Учебник |
| Тип файла | Другой |
| Язык | Русский |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Ключ записи | RU\IBOOK\books\350104 |
| Дата создания записи | 27.07.2020 |
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Количество обращений: 17
За последние 30 дней: 1
