Details
| Title | Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие. — 3-е изд. |
|---|---|
| Creators | Громов Д. Г.; Мочалов А. И.; Сулимин А. Д.; Шевяков В. И. |
| Imprint | Москва: Лаборатория знаний, 2015 |
| Collection | ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru"; Общая коллекция |
| Subjects | Микроэлектронные схемы интегральные |
| UDC | 621.3.049.77(075.8) |
| Document type | Tutorial |
| File type | Other |
| Language | Russian |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Record key | RU\IBOOK\books\350104 |
| Record create date | 7/27/2020 |
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Access count: 17
Last 30 days: 1
