Детальная информация
| Название | Современное технологическое оборудование для микроэлектроники: пособие. — Современное технологическое оборудование для микроэлектроники, 2027-10-28 |
|---|---|
| Авторы | Камлюк, В. С. ; Камлюк, Д. В. |
| Выходные сведения | Минск: Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2022 |
| Коллекция | ЭБС "PROFобразование" ; Общая коллекция |
| Тематика | технологическое оборудование ; микроэлектроника ; полупроводник ; наладка ; регулировка ; аттестация |
| УДК | 621.315 |
| ББК | 32.844 |
| Тип документа | Учебник |
| Язык | Русский |
| Права доступа | Гарантированный срок размещения до 28.10.2027 (автопролонгация); Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Дополнительно | Новинка |
| Ключ записи | RU2fPROFSPO2f125423 |
| Дата создания записи | 10.09.2026 |
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».
...
