Details
| Title | Современное технологическое оборудование для микроэлектроники: пособие. — Современное технологическое оборудование для микроэлектроники, 2027-10-28 |
|---|---|
| Creators | Камлюк, В. С. ; Камлюк, Д. В. |
| Imprint | Минск: Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2022 |
| Collection | ЭБС "PROFобразование" ; Общая коллекция |
| Subjects | технологическое оборудование ; микроэлектроника ; полупроводник ; наладка ; регулировка ; аттестация |
| UDC | 621.315 |
| LBC | 32.844 |
| Document type | Tutorial |
| Language | Russian |
| Rights | Гарантированный срок размещения до 28.10.2027 (автопролонгация); Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Additionally | New arrival |
| Record key | RU2fPROFSPO2f125423 |
| Record create date | 9/10/2026 |
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».
...
