Детальная информация

Название: Особенности структурирования и абляции тонких пленок титана фемтосекундными лазерными импульсами // Оптика и спектроскопия. – 2022. – С. 517-521
Авторы: Кузьмин Е. В.; Клековкин А. В.
Организация: "Сверхбыстрые оптические явления", Международная научно-техническая конференция
Выходные сведения: 2022
Коллекция: Общая коллекция
Тематика: Физика; Физическая оптика; тонкие пленки титана; абляция пленок титана; структурирование пленок титана; фемтосекундные лазерные импульсы; обработка поверхностей; поверхностные структуры; лазерные импульсы
УДК: 535.2/3
ББК: 22.343
Тип документа: Статья, доклад
Тип файла: Другой
Язык: Русский
DOI: 10.21883/OS.2022.04.52265.66-21
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Ключ записи: RU\SPSTU\edoc\68658

Разрешенные действия: Посмотреть

Аннотация

Проведено исследование процессов структурирования и абляции пленки титана фемтосекундными лазерными импульсами на длинах волн излучения 515 и 1030 nm как в одноимпульсном, так и в многоимпульсном режимах. Определены оптимальные энергетические режимы селективного удаления материала пленки без повреждения подложки, а также условия генерации поверхностных периодических структур. Показана эволюция периодических структур при увеличении числа лазерных импульсов. Прецизионное удаление титана связано с термомеханическими взрывным кипением и соответствующим ему вкладом энергии, обеспечивающим каскадный вид абляционных кратеров.

Статистика использования

stat Количество обращений: 19
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика