Details

Title: Особенности структурирования и абляции тонких пленок титана фемтосекундными лазерными импульсами // Оптика и спектроскопия. – 2022. – С. 517-521
Creators: Кузьмин Е. В.; Клековкин А. В.
Organization: "Сверхбыстрые оптические явления", Международная научно-техническая конференция
Imprint: 2022
Collection: Общая коллекция
Subjects: Физика; Физическая оптика; тонкие пленки титана; абляция пленок титана; структурирование пленок титана; фемтосекундные лазерные импульсы; обработка поверхностей; поверхностные структуры; лазерные импульсы
UDC: 535.2/3
LBC: 22.343
Document type: Article, report
File type: Other
Language: Russian
DOI: 10.21883/OS.2022.04.52265.66-21
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Record key: RU\SPSTU\edoc\68658

Allowed Actions: View

Annotation

Проведено исследование процессов структурирования и абляции пленки титана фемтосекундными лазерными импульсами на длинах волн излучения 515 и 1030 nm как в одноимпульсном, так и в многоимпульсном режимах. Определены оптимальные энергетические режимы селективного удаления материала пленки без повреждения подложки, а также условия генерации поверхностных периодических структур. Показана эволюция периодических структур при увеличении числа лазерных импульсов. Прецизионное удаление титана связано с термомеханическими взрывным кипением и соответствующим ему вкладом энергии, обеспечивающим каскадный вид абляционных кратеров.

Usage statistics

stat Access count: 25
Last 30 days: 6
Detailed usage statistics