Детальная информация

Название: Диагностика технологии оксидов титана и гафния методами люминесценции // Оптика и спектроскопия. – 2023. – С. 25-29
Авторы: Булярский С. В.; Гусаров Г. Г.; Дудин А. А.; Коива Д. А.; Литвинова К. И.
Выходные сведения: 2023
Коллекция: Общая коллекция
Тематика: Физика; Люминесценция; люминесцентные методы; оксид титана; оксид гафния; диагностика технологий; вакансии кислорода; фотолюминесценция; формирование полос люминесценции
УДК: 535.37
ББК: 22.345
Тип документа: Статья, доклад
Тип файла: Другой
Язык: Русский
DOI: 10.21883/OS.2023.01.54533.4086-22
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Ключ записи: RU\SPSTU\edoc\70946

Разрешенные действия: Посмотреть

Аннотация

Показана роль вакансий кислорода в формировании полос люминесценции оксидов титана и гафния, а также продемонстрирована связь интенсивности полос люминесценции с условиями синтеза пленок этих материалов. Сделан вывод, что фотолюминесценция является очень чувствительным методом диагностики состава оксидов. Полосы люминеценции 2.45 eV в оксиде титана и 2.91 eV в оксиде гафния позволяют анализировать изменение состава пленок при различных технологических условиях их получения.

Статистика использования

stat Количество обращений: 8
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика