Details

Title: Диагностика технологии оксидов титана и гафния методами люминесценции // Оптика и спектроскопия. – 2023. – С. 25-29
Creators: Булярский С. В.; Гусаров Г. Г.; Дудин А. А.; Коива Д. А.; Литвинова К. И.
Imprint: 2023
Collection: Общая коллекция
Subjects: Физика; Люминесценция; люминесцентные методы; оксид титана; оксид гафния; диагностика технологий; вакансии кислорода; фотолюминесценция; формирование полос люминесценции
UDC: 535.37
LBC: 22.345
Document type: Article, report
File type: Other
Language: Russian
DOI: 10.21883/OS.2023.01.54533.4086-22
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Record key: RU\SPSTU\edoc\70946

Allowed Actions: View

Annotation

Показана роль вакансий кислорода в формировании полос люминесценции оксидов титана и гафния, а также продемонстрирована связь интенсивности полос люминесценции с условиями синтеза пленок этих материалов. Сделан вывод, что фотолюминесценция является очень чувствительным методом диагностики состава оксидов. Полосы люминеценции 2.45 eV в оксиде титана и 2.91 eV в оксиде гафния позволяют анализировать изменение состава пленок при различных технологических условиях их получения.

Usage statistics

stat Access count: 123
Last 30 days: 58
Detailed usage statistics