Измерение коэффициента отражения в скользящем падении является одним из основных методов для определения оптических констант материалов в диапазоне экстремального ультрафиолета. В настоящей работе описывается одноканальный метод такого измерения, в котором падающее и отражённое излучение, диспергированное в спектрометре скользящего падения, регистрируется одновременно при помощи CCD-матрицы. В работе предлагается алгоритм обработки спектрограмм, который основан на построении функции спектральной модуляции сигнала в спектре. Такой подход позволяет исключить влияние непрерывного спектрального фона на измеряемую величину коэффициента отражения. Разработанная методика была применена для обработки результатов эксперимента по измерению коэффициента отражения кремния при угле скольжения 5 градусов в спектральном диапазоне 8-25 nm. В качестве спектрального прибора использовался Quasi-Flat Field спектрометр, источник излучения - быстрый капиллярный разряд.

Оптика и спектроскопия. — Санкт-Петербург: Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2022 -. — Электрон. журнал. — Периодичность: 12 раз в год. — Размещен на платформе "eLIBRARY.RU", ООО НЭБ: https://elibrary.ru/. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/title_about_new.asp?id=7925>.

Оптика и спектроскопия. — Санкт-Петербург: Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2022 -. Т. 131, № 8, 2023. — (19 ст.). — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/contents.asp?id=55179344>.