Details
| Title | Методика определения коэффициента отражения в скользящем падении при использовании одноканальной схемы измерения // Оптика и спектроскопия. – 2023. – С. 1074-1079 |
|---|---|
| Creators | Анциферов П. С.; Дорохин Л. А.; Макарова В. М. |
| Imprint | 2023 |
| Collection | Общая коллекция |
| Subjects | Физика; Физическая оптика; падающий свет (физика); отражение падающего света; коэффициент отражения; измерение коэффициента отражения; одноканальные схемы; экстремальный ультрафиолет; скользящее падение (физика); капиллярные разряды |
| UDC | 535.2/3 |
| LBC | 22.343 |
| Document type | Article, report |
| File type | Other |
| Language | Russian |
| DOI | 10.61011/OS.2023.08.56298.4846-23 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\72198 |
| Record create date | 12/14/2023 |
Измерение коэффициента отражения в скользящем падении является одним из основных методов для определения оптических констант материалов в диапазоне экстремального ультрафиолета. В настоящей работе описывается одноканальный метод такого измерения, в котором падающее и отражённое излучение, диспергированное в спектрометре скользящего падения, регистрируется одновременно при помощи CCD-матрицы. В работе предлагается алгоритм обработки спектрограмм, который основан на построении функции спектральной модуляции сигнала в спектре. Такой подход позволяет исключить влияние непрерывного спектрального фона на измеряемую величину коэффициента отражения. Разработанная методика была применена для обработки результатов эксперимента по измерению коэффициента отражения кремния при угле скольжения 5 градусов в спектральном диапазоне 8-25 nm. В качестве спектрального прибора использовался Quasi-Flat Field спектрометр, источник излучения - быстрый капиллярный разряд.
Access count: 17
Last 30 days: 3
