Исследованы фазово-структурное состояние, параметры магнитной структуры, статические и СВЧ магнитные свойства плёнок Fe[81-74]Zr[2-5] N[17-21], полученных методом реактивного магнетронного осаждения. Определено, что с увеличением содержания Zr и N структура плёнок изменяется от, так называемой, смешанной (аморфной и нанокристаллической, представленной пересыщенным цирконием и азотом твёрдым раствором на основе Fe в ОЦК модификации и ГЦК нитридной фазой) к рентгеноаморфной. Рассмотрена взаимосвязь величин статических магнитных свойств и параметров стохастической магнитной структуры с величиной действительной эффективной магнитной проницаемости mu', сохраняющейся в диапазоне частот до 3 ГГц. Показано, что стохастическая магнитная структура определяет динамические магнитные свойства.

The phase-structural state, magnetic structure parameters, static and microwave magnetic properties of Fe[81-74]Zr[2-5] N[17-21] films obtained by reactive magnetron deposition have been studied. It was determined that with an increase in the content of Zr and N, the structure of the films changes from the so-called mixed (amorphous and nanocrystalline, represented by supersaturated zirconium and nitrogen solid solution based on Fe in BCC modification and HCC nitride phase) to X-ray amorphous. The interrelation of the values of static magnetic properties and parameters of a stochastic magnetic structure with the value of the actual effective magnetic permeability mu', which persists in the frequency range up to 3 GHz, is considered. It is shown that the stochastic magnetic structure determines the dynamic magnetic properties.

Физика и химия обработки материалов = Physics and chemistry of materials treatment: научно-технический журнал / Российская академия наук, Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова. — Москва: Интерконтакт Наука, 2022 -. — Электрон. журнал. — Периодичность: 6 раз в год. — Размещен на платформе "eLIBRARY.RU", ООО НЭБ: https://elibrary.ru/. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/title_about_new.asp?id=8248>.

Физика и химия обработки материалов = Physics and chemistry of materials treatment: научно-технический журнал / Российская академия наук, Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова. — Москва: Интерконтакт Наука, 2022 -. № 6, 2023. — (8 ст.). — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/contents.asp?id=64906842>.