Details

Title: Плёнки FeZrN: статические и СВЧ магнитные свойства // Физика и химия обработки материалов. – 2023. – № 6. — С. 31-38
Creators: Шефтель Е. Н.; Харин Е. В.; Теджетов В. А.; Розанов К. Н.; Бобровский С. Ю.; Усманова Г. Ш.
Imprint: 2023
Collection: Общая коллекция
Subjects: Физика; Магнетизм; ферромагнитные плёнки; статические свойства; магнитные свойства; СВЧ магнитные свойства; магнетронное осаждение; корреляционная магнитометрия; СВЧ магнитная проницаемость; ferromagnetic films; static properties; magnetic properties; microwave magnetic properties; magnetron deposition; correlation magnetometry; microwave magnetic permeability
UDC: 537.6
LBC: 22.334
Document type: Article, report
File type: Other
Language: Russian
DOI: 10.30791/0015-3214-2023-6-31-38
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Additionally: New arrival
Record key: RU\SPSTU\edoc\72758

Allowed Actions: View

Annotation

Исследованы фазово-структурное состояние, параметры магнитной структуры, статические и СВЧ магнитные свойства плёнок Fe[81-74]Zr[2-5] N[17-21], полученных методом реактивного магнетронного осаждения. Определено, что с увеличением содержания Zr и N структура плёнок изменяется от, так называемой, смешанной (аморфной и нанокристаллической, представленной пересыщенным цирконием и азотом твёрдым раствором на основе Fe в ОЦК модификации и ГЦК нитридной фазой) к рентгеноаморфной. Рассмотрена взаимосвязь величин статических магнитных свойств и параметров стохастической магнитной структуры с величиной действительной эффективной магнитной проницаемости mu', сохраняющейся в диапазоне частот до 3 ГГц. Показано, что стохастическая магнитная структура определяет динамические магнитные свойства.

The phase-structural state, magnetic structure parameters, static and microwave magnetic properties of Fe[81-74]Zr[2-5] N[17-21] films obtained by reactive magnetron deposition have been studied. It was determined that with an increase in the content of Zr and N, the structure of the films changes from the so-called mixed (amorphous and nanocrystalline, represented by supersaturated zirconium and nitrogen solid solution based on Fe in BCC modification and HCC nitride phase) to X-ray amorphous. The interrelation of the values of static magnetic properties and parameters of a stochastic magnetic structure with the value of the actual effective magnetic permeability mu', which persists in the frequency range up to 3 GHz, is considered. It is shown that the stochastic magnetic structure determines the dynamic magnetic properties.

Usage statistics

stat Access count: 14
Last 30 days: 5
Detailed usage statistics