Детальная информация
| Название | Handbook of deposition technologies for films and coatings: science, applications and technology. — 3rd ed. |
|---|---|
| Другие авторы | Martin Peter M. |
| Выходные сведения | Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 2010 |
| Коллекция | Электронные книги зарубежных издательств; Общая коллекция |
| Тематика | Пленки тонкие — Получение |
| УДК | 539.23(035) |
| Тип документа | Другой |
| Тип файла | Другой |
| Язык | Английский |
| Права доступа | Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\52656 |
| Дата создания записи | 24.04.2018 |
This 3rd, edited by Peter M. Martin, PNNL 2005 Inventor of the Year, is an extensive update of the many improvements in deposition technologies, mechanisms, and applications. This long-awaited revision includes updated and new chapters on atomic layer deposition, cathodic arc deposition, sculpted thin films, polymer thin films and emerging technologies. Extensive material was added throughout the book, especially in the areas concerned with plasma-assisted vapor deposition processes and metallurgical coating applications.
Количество обращений: 37
За последние 30 дней: 0
