Предметом диссертационного исследования являются существенно нелинейные статические и динамические задачи механики деформируемого твердого тела в связанных полях, возникающие при разработке и моделировании объектов нано- и микросистемной техники. Содержание настоящей работы состоит в аналитическом и численном исследовании ветвления форм равновесия упругих элементов НМСТ, а также их свободных и вынужденных колебаний в условиях совместного действия механического, электрического и температурного полей. Основной научный результат работы состоит в выявлении и качественном исследовании принципиально важных для приборостроения свойств (структура возможных положений равновесия, допускаемые значения физических параметров системы и др.) и характеристик (спектральных, резонансных и др.) упругих элементов различных современных и перспективных НЭМС/МЭМС.