Details
| Title | Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры: научный доклад: 11.06.01 |
|---|---|
| Creators | Эннс Яков Борисович |
| Scientific adviser | Пятышев Евгений Нилович |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2018 |
| Collection | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
| Subjects | Пленки тонкие ; Микроэлектронные схемы интегральные — Производство ; Микроэлектронная аппаратура ; Упругие системы — Устойчивость ; Колебания ; микросистемная техника |
| UDC | 531.36 ; 539.216.2 |
| Document type | Scientific report |
| File type | |
| Language | Russian |
| Level of education | Graduate student |
| Speciality code (FGOS) | 11.06.01 |
| Speciality group (FGOS) | 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/va19-5 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\60190 |
| Record create date | 1/16/2019 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
| Group | Anonymous |
|---|---|
| Network | Internet |
Научный доклад посвящён разработке конструкции, методов управления и технологии изготовления нелинейных микромеханических структур с потерей устойчивости.В рамках работы были получены новые данные о механических свойствах тонкопленочных металлических композиций и динамическом поведении нелинейных микросистем.Теоретические данные,полученные в ходе численного моделирования поведения нелинейных микромеханических элементов,подтверждаются экспериментально на изготовленных прототипах устройств. Полученные результаты дают возможность совершенствования технологических и конструкционных методов проектирования и изготовления устройств микросистемной техники.
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | Authorized users SPbPU |
|
| Internet | Anonymous |
|
Access count: 1
Last 30 days: 0
