Details

Title: Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры: научный доклад: 11.06.01
Creators: Эннс Яков Борисович
Scientific adviser: Пятышев Евгений Нилович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint: Санкт-Петербург, 2018
Collection: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects: Пленки тонкие; Микроэлектронные схемы интегральные — Производство; Микроэлектронная аппаратура; Упругие системы — Устойчивость; Колебания; микросистемная техника
UDC: 531.36; 539.216.2
Document type: Scientific report
File type: PDF
Language: Russian
Level of education: Graduate student
Speciality code (FGOS): 11.06.01
Speciality group (FGOS): 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
DOI: 10.18720/SPBPU/2/va19-5
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\60190

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Научный доклад посвящён разработке конструкции, методов управления и технологии изготовления нелинейных микромеханических структур с потерей устойчивости.В рамках работы были получены новые данные о механических свойствах тонкопленочных металлических композиций и динамическом поведении нелинейных микросистем.Теоретические данные,полученные в ходе численного моделирования поведения нелинейных микромеханических элементов,подтверждаются экспериментально на изготовленных прототипах устройств. Полученные результаты дают возможность совершенствования технологических и конструкционных методов проектирования и изготовления устройств микросистемной техники.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 0
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics