Details

Title: Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры: научный доклад: 11.06.01
Creators: Эннс Яков Борисович
Scientific adviser: Пятышев Евгений Нилович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint: Санкт-Петербург, 2018
Collection: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects: Пленки тонкие; Микроэлектронные схемы интегральные — Производство; Микроэлектронная аппаратура; Упругие системы — Устойчивость; Колебания; микросистемная техника
UDC: 531.36; 539.216.2
Document type: Scientific report
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 11.06.01
Speciality group (FGOS): 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Annotation

Научный доклад посвящён разработке конструкции, методов управления и технологии изготовления нелинейных микромеханических структур с потерей устойчивости.В рамках работы были получены новые данные о механических свойствах тонкопленочных металлических композиций и динамическом поведении нелинейных микросистем.Теоретические данные,полученные в ходе численного моделирования поведения нелинейных микромеханических элементов,подтверждаются экспериментально на изготовленных прототипах устройств. Полученные результаты дают возможность совершенствования технологических и конструкционных методов проектирования и изготовления устройств микросистемной техники.