Details

Title Синтез и реализация микроэлектронного термоэлектрического генератора: научный доклад: направление подготовки 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи» ; направленность 11.06.01_03 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники»
Creators Буслаев Роман Дмитриевич
Scientific adviser Лобода Вера Владимировна
Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint Санкт-Петербург, 2022
Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects Пленки тонкие; Генераторы термоэлектрические; мэмс; оптимизация; электрохимическое осаждения; mems; optimization; electrochemical deposition
UDC 538.975; 544.72; 539.216.2; 621.362
Document type Scientific report
File type Other
Language Russian
Level of education Graduate student
Speciality code (FGOS) 11.06.01
Speciality group (FGOS) 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Rights Текст не доступен в соответствии с распоряжением СПбПУ от 11.04.2018 № 141
Record key ru\spstu\vkr\26302
Record create date 10/5/2023

В данной работе описывается процесс реализации экспериментального термоэлектрического генератора ТЭГ, синтез тонких пленок полупроводников теллуридов висмута Bi2Te3 и сурьмы Sb2Te3 методом электрохимического осаждения, а так же оптимизация геометрических параметров универсальной твердотельной модели по критерию максимизации выходной мощности.

This paper describes the process of implementing an experimental TEG thermoelectric generator, the synthesis of thin films of bismuth Bi2Te3 and antimony telluride Sb2Te3 semiconductors by electrochemical deposition, as well as the optimization of the geometric parameters of a universal solid-state model according to the criterion of output power maximization.