Details

Title Разработка технологии формирования композиционных слоев на основе углерода: научный доклад: 11.06.01 - Электроника, радиотехника и системы связи ; 11.06.01_03 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Creators Пригодич Ксения Юрьевна
Scientific adviser Александров Сергей Евгеньевич
Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint Санкт-Петербург, 2019
Collection Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция
Subjects углерод ; магнетронное напыление ; наночастицы никеля ; carbon ; magnetron sputtering ; nickel nanoparticles
Document type Scientific report
File type PDF
Language Russian
Level of education Graduate student
Speciality code (FGOS) 11.06.01
Speciality group (FGOS) 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
DOI 10.18720/SPBPU/6/2019/vn19-71
Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key ru\spstu\vkr\4920
Record create date 11/22/2019

Allowed Actions

Read Download (2.2 Mb)

Group Anonymous
Network Internet

Разработана методика получения углеродных фольг методом магнетронного напыления. Разработана методика нанесения водорастворимого подслоя для последующего снятия напыленных углеродных фольг с подложки. Разработана методика получения углеродных фольг с наночастицами никеля методом магнетронного напыления. Изучены свойства и структура полученных пленок. Исследован характер влияния технологических параметров напыления на морфологию, состав и ряд свойств получаемых слоев. На основе полученных результатов определены перспективные области практического применения.

Developed the method for producing carbon foils by magnetron sputtering and the method for applying a water-soluble sublayer to remove carbon foils from substrate. Developed the method for producing carbon foils with nickel nanoparticles by magnetron sputtering. Studied the properties and structure of the obtained films. Investigated the influence of technological parameters on the morphology, composition and properties of the resulting layers. As a result, promising areas of practical application are identified.

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All
Read Print Download
Internet All

Access count: 118 
Last 30 days: 14

Detailed usage statistics