?

Details
Table Card RUSMARC
Title: Разработка технологии формирования композиционных слоев на основе углерода: научный доклад: 11.06.01 - Электроника, радиотехника и системы связи ; 11.06.01_03 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Creators: Пригодич Ксения Юрьевна
Scientific adviser: Александров Сергей Евгеньевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint: Санкт-Петербург, 2019
Collection: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects: углерод; магнетронное напыление; наночастицы никеля; carbon; magnetron sputtering; nickel nanoparticles
Document type: Scientific report
File type: Other
Language: Russian
Level of education: Graduate student
Speciality code (FGOS): 11.06.01
Speciality group (FGOS): 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: ru\spstu\vkr\4920

Annotation

Разработана методика получения углеродных фольг методом магнетронного напыления. Разработана методика нанесения водорастворимого подслоя для последующего снятия напыленных углеродных фольг с подложки. Разработана методика получения углеродных фольг с наночастицами никеля методом магнетронного напыления. Изучены свойства и структура полученных пленок. Исследован характер влияния технологических параметров напыления на морфологию, состав и ряд свойств получаемых слоев. На основе полученных результатов определены перспективные области практического применения.

Developed the method for producing carbon foils by magnetron sputtering and the method for applying a water-soluble sublayer to remove carbon foils from substrate. Developed the method for producing carbon foils with nickel nanoparticles by magnetron sputtering. Studied the properties and structure of the obtained films. Investigated the influence of technological parameters on the morphology, composition and properties of the resulting layers. As a result, promising areas of practical application are identified.