Details

Title: Анализ морфологии поверхности тонких органических пленок, полученных методом вакуумного напыления: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.03.04_04 «Микроэлектроника и твердотельная электроника»
Creators: Беков Джон Усманович
Scientific adviser: Захарова Ирина Борисовна
Other creators: Гаврикова Татьяна Андреевна
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2020
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: Other
Language: Russian
Level of education: Bachelor
Speciality code (FGOS): 11.03.04
Speciality group (FGOS): 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Rights: Текст не доступен в соответствии с распоряжением СПбПУ от 13.07.2016 № 91
Record key: ru\spstu\vkr\7984

Annotation

Работа посвящена исследованию структуры и морфологии поверхности тонких поликристаллических плёнок порфиринов H2TPP и ZnTPP. Плёнки были получены методом вакуумного напыления в квазизамкнутом объеме на кремниевой подложке. Структура и состав были изучены с помощью растрового электронного микроскопа с энергодисперсионной приставкой. Показано, что обработка изображений с помощью программ позволяет выявить не только качественные, но и численные характеристики структуры поликристаллических пленок, такие как средний размер зёрен, их распределение по размеру, наличие текстуры и характерные ориентации кристаллитов. В результате работы получены новые данные о структуре тетрафенилпорфириновых плёнок и показана перспективность метода анализа изображений для получения информации о самоорганизации тонких органических плёнок при вакуумной конденсации.

The work is devoted to studying the structure and surface morphology of thin polycrystalline films of porphyrins H2TPP and ZnTPP. The films were obtained by vacuum deposition in a quasi-closed volume on a silicon substrate. The structure and composition were studied using a scanning electron microscope with an energy dispersion attachment. It was shown that image processing with the help of programs makes it possible to reveal not only qualitative, but also numerical characteristics of the structure of polycrystalline films, such as the average grain size, their size distribution, the presence of texture, and characteristic crystallite orientations. As a result of the work, new data on the structure of tetraphenylporphyrin films were obtained and the prospects of the image analysis method for obtaining information on the self- organization of thin organic films during vacuum condensation were shown.