Details

Предмет исследования. Оптические многослойные диэлектрические полосовые фильтры. Цель работы. Разработка методики коррекции искажений спектральной характеристики, вызванных случайными отклонениями толщины слоев при напылении фильтра. Метод. Рассмотрена достаточно простая методика коррекции случайных отклонений толщины предыдущих слоев намеренным изменением толщины последующих в структурах сложных составных полосовых фильтров. Основные результаты. На примере практической реализации двух составных полосовых фильтров показаны применение данной методики и возможность почти полной коррекции искажений спектральной характеристики. Практическая значимость. Предложенная методика последовательной коррекции искажений спектральной характеристики многослойного диэлектрического полосового фильтра позволяет эффективней достигать желаемого результата и значительно снижать количество брака при изготовлении таких фильтров, особенно их больших партий.

Subject of study. Optical multilayer dielectric bandpass filters. Aim of the work. Development of a technique for correcting distortions in the spectral characteristics caused by random deviations in layer thicknesses during filter deposition. Method. For the structures of complex composite bandpass filters, a fairly simple technique for correcting random deviations in the thicknesses of previous layers by deliberately changing the thickness of subsequent layers is considered. Main results. Using the example of the practical implementation of two composite bandpass filters, the application of this technique and the possibility of almost complete correction of distortions of the spectral characteristic are shown. Practical significance. The proposed method of sequential correction of distortions in the spectral characteristics of the multilayer dielectric bandpass filter makes it possible to more effectively achieve the desired result and significantly reduce the amount of defects in the manufacture of such filters, especially large batches of filters.