Details

Предмет исследования. Новая технология линейно-угловых измерений, основанная на использовании многоэлементной марки и получении измерительной информации об угловом и линейном сдвигах по совокупности измерений для всех элементов изображения марки; точность измерения координат элементов изображения марки в матричном измерителе. Цель работы. Получение оценок погрешностей измерения координат элементов изображения марки в ходе экспериментальных исследований. Метод. Исследование погрешности измерения координат элементов синтезированного изображения марки на основе результатов измерений. Основные результаты. Выполнены реальные измерения координат элементов при наличии искажений, обусловленных дисторсией объектива и погрешностями изготовления марки. Показана возможность разделения указанных искажений, измерения их параметров и коррекции до значений погрешности, полученной на цифровой модели. Практическая значимость. Показано, что процедура определения и коррекции искажений изображения может быть положена в основу измерительного комплекса контроля технологии изготовления фотошаблонов на всех этапах. Проведенные исследования показывают, что эта задача может быть решена на уровне погрешности 0,2 мкм для большого числа зон с плотностью до 40 000 элементов на 1 см{2}.

Subject of study. A new technology for linear-angular measurements, based on the use of a multi-element mark and obtaining measurement information about the angular and linear shift from a set of measurements for all elements of the mark image; accuracy of measuring the coordinates of brand image elements in a matrix meter. Aim of the study. Obtaining estimates of errors in measuring the coordinates of mark image elements during experimental studies. Method. The error of measuring the coordinates of the elements of the synthesized image of the stamp based on the measurement results is investigated. Main results. Real measurements of the coordinates of the elements were performed in the presence of distortions due to lens distortion and manufacturing errors of the mark. The possibility of separating these distortions, measuring their parameters and correcting them to the error values obtained on a digital model is shown. Practical significance. It is shown that the procedure for determining and correcting image distortions can be used as the basis for a measuring complex for controlling the technology of manufacturing photomasks at all stages. The conducted research shows that this problem can be solved at an error level of 0.2 mum for a large number of zones with a density of up to 40 000 elements per 1 cm{2}.