Details

Title: Интерферометрия абсолютных расстояний лазерных зондовых измерителей рельефа при гармонической девиации длины волны // Оптика и спектроскопия. – 2023. – С. 749-753
Creators: Добдин С. Ю.; Инкин М. Г.; Джафаров А. В.; Скрипаль А. В.
Imprint: 2023
Collection: Общая коллекция
Subjects: Физика; Физическая оптика; зондовые измерители рельефов; лазерные измерители рельефов; интерферометрия; гармонические девиации волн (физика); лазерная интерферометрия; автодины; полупроводниковые лазеры
UDC: 535.2/3
LBC: 22.343
Document type: Article, report
File type: Other
Language: Russian
DOI: 10.21883/OS.2023.06.55908.102-23
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Record key: RU\SPSTU\edoc\71754

Allowed Actions: View

Annotation

Представлены результаты моделирования самосмешивающегося лазера (автодина) в качестве лазерного зонда для контроля микроперемещений. Предложен метод измерения абсолютного расстояния по отношению амплитуд гармоник спектра автодинного сигнала. Расчет проведен с использованием программной среды PyCharm IDE и программных модулей numpy и matplotlib. Вследствие неоднозначности функций Бесселя, входящих в алгоритм, для достоверного определения расстояния необходимо ограничить выбор спектральных составляющих областью однозначности, которая находится в конце значимой области спектра. Показано, что при уменьшении расстояния до отражателя необходимо увеличивать величину девиации длины волны лазерного излучения, чтобы набор измеряемых гармоник находился в области высоких частот. В диапазоне девиации от 0.1 до 1 nm на расстоянии от 50 до 100 mm точность измерений может достигать единиц микрон. Перспективность применения лазерного автодина обусловлена задачей разработки лазерных зондов для контроля микроперемещений в узком диапазоне расстояний до отражателя.

Usage statistics

stat Access count: 7
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics