Details
| Title | Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники: учебное пособие. — Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники, 2028-09-29 |
|---|---|
| Creators | Величко, А. А. ; Гришина, И. В. ; Игнатов, А. Н. ; Фадеева, Н. Е. ; Филимонова, Н. И. |
| Other creators | Игнатова, А. Н. |
| Imprint | Москва, Вологда: Инфра-Инженерия, 2023 |
| Collection | ЭБС "PROFобразование" ; Общая коллекция |
| Subjects | химико-технологические основы ; микроэлектроника ; наноэлектроника ; электроника ; спектроскопия |
| UDC | 621.3 |
| LBC | 32.844 |
| Document type | Tutorial |
| Language | Russian |
| Rights | Гарантированный срок размещения до 29.09.2028 (автопролонгация); Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Additionally | New arrival |
| Record key | RU2fPROFSPO2f133310 |
| Record create date | 9/10/2026 |
Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 «Радиоэлектроника», 11.03.02 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», а также учащихся колледжей электронного и радиотехнического профилей.
...
