Details
| Title | Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники: учебное пособие. — Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники, 2030-04-07 |
|---|---|
| Creators | Камлюк, В. С. ; Камлюк, Д. В. |
| Imprint | Минск: Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2016 |
| Collection | ЭБС "PROFобразование" ; Общая коллекция |
| Subjects | мехатроника ; микроэлектроника ; мехатронный модуль ; технологическое оборудование ; машина ; радиоэлектроника ; интерфейс |
| UDC | 62 |
| LBC | 32.84 |
| Document type | Tutorial |
| Language | Russian |
| Rights | Гарантированный срок размещения до 07.04.2030 (автопролонгация); Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Additionally | New arrival |
| Record key | RU2fPROFSPO2f67660 |
| Record create date | 9/10/2026 |
Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элементы – аппаратные и программные интерфейсы, пути организации данной связи с целью снижения аппаратных интерфейсов. Отдельные главы посвящены надежности и техническому диагностированию, обслуживанию и ремонту мехатронных систем. Предназначено для учащихся учреждений среднего специального образования, обучающихся по специальности «Мехатроника» (специализация «Мехатроник 5-го разряда (радиоэлектронное производство)»).
