Details
| Title | Технологическое оборудование для микроэлектроники: учебное пособие. — Технологическое оборудование для микроэлектроники, 2030-04-07 |
|---|---|
| Creators | Камлюк, В. С. ; Камлюк, Д. В. |
| Imprint | Минск: Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2014 |
| Collection | ЭБС "PROFобразование" ; Общая коллекция |
| Subjects | микроэлектроника ; технологическое оборудование ; микросхема ; вакуумная система ; кремниевая пластина |
| UDC | 62 |
| LBC | 32.84 |
| Document type | Tutorial |
| Language | Russian |
| Rights | Гарантированный срок размещения до 07.04.2030 (автопролонгация); Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Record key | RU2fPROFSPO2f67752 |
| Record create date | 9/10/2026 |
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
...
