Details
| Title | Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы): учебное пособие. — Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы), 2030-03-03 |
|---|---|
| Creators | Груздов, В. В. ; Колковский, Ю. В. ; Концевой, Ю. А. |
| Imprint | Москва: Техносфера, 2017 |
| Collection | ЭБС "PROFобразование" ; Общая коллекция |
| Subjects | материал ; СВЧ ; СВЧ электроника ; электроника ; микроэлектроника |
| UDC | 621.37 |
| LBC | 32 |
| Document type | Tutorial |
| Language | Russian |
| Rights | Гарантированный срок размещения до 03.03.2030 (автопролонгация); Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Additionally | New arrival |
| Record key | RU2fPROFSPO2f84681 |
| Record create date | 9/10/2026 |
Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники». В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.
...
