Details
| Title | Катодолюминесценция собственных дефектов в пленках La : HfZrO // Оптика и спектроскопия. – 2022. – С. 1836-1839 |
|---|---|
| Creators | Дементьева Е. В.; Заморянская М. В.; Гриценко В. А. |
| Imprint | 2022 |
| Collection | Общая коллекция |
| Subjects | Физика; Люминесценция; катодолюминесценция; дефекты в пленках; оксид гафния; оксид циркония; вакансии кислорода; нанометровые пленки; твердые растворы |
| UDC | 535.37 |
| LBC | 22.345 |
| Document type | Article, report |
| File type | Other |
| Language | Russian |
| DOI | 10.21883/OS.2022.12.54088.4244-22 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\69739 |
| Record create date | 1/16/2023 |
Нанометровые пленки твердого раствора оксида гафния и циркония, легированные лантаном (La:(HfZr)O[2]), представляют большой интерес для разработки универсальной памяти, сочетающей неограниченное число циклов перепрограммирования оперативной памяти и энергонезависимость флеш-памяти. Настоящая работа посвящена исследованиям катодолюминесцентных свойств тонких пленок La : HfZrO с различным содержанием лантана. Показано, что в спектрах катодолюминесценции доминируют две полосы излучения с максимумами интенсивности 2.7 и 2.2 eV. Голубая полоса с энергией 2.7 eV обусловлена вакансией кислорода в La : HfZrO. Исследование влияния примеси лантана и отжига образцов в аргоне позволяет предположить, что желтая полоса с максимумом излучения 2.2 eV связана с дивакансией кислорода.
Access count: 17
Last 30 days: 2
