Details

Title: Катодолюминесценция собственных дефектов в пленках La : HfZrO // Оптика и спектроскопия. – 2022. – С. 1836-1839
Creators: Дементьева Е. В.; Заморянская М. В.; Гриценко В. А.
Imprint: 2022
Collection: Общая коллекция
Subjects: Физика; Люминесценция; катодолюминесценция; дефекты в пленках; оксид гафния; оксид циркония; вакансии кислорода; нанометровые пленки; твердые растворы
UDC: 535.37
LBC: 22.345
Document type: Article, report
File type: Other
Language: Russian
DOI: 10.21883/OS.2022.12.54088.4244-22
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Record key: RU\SPSTU\edoc\69739

Allowed Actions: View

Annotation

Нанометровые пленки твердого раствора оксида гафния и циркония, легированные лантаном (La:(HfZr)O[2]), представляют большой интерес для разработки универсальной памяти, сочетающей неограниченное число циклов перепрограммирования оперативной памяти и энергонезависимость флеш-памяти. Настоящая работа посвящена исследованиям катодолюминесцентных свойств тонких пленок La : HfZrO с различным содержанием лантана. Показано, что в спектрах катодолюминесценции доминируют две полосы излучения с максимумами интенсивности 2.7 и 2.2 eV. Голубая полоса с энергией 2.7 eV обусловлена вакансией кислорода в La : HfZrO. Исследование влияния примеси лантана и отжига образцов в аргоне позволяет предположить, что желтая полоса с максимумом излучения 2.2 eV связана с дивакансией кислорода.

Usage statistics

stat Access count: 11
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics