Details

В работе представлено физическое описание формирования слоя положительного заряда вокруг объекта исследования при обработке в высокочастотном ёмкостном (ВЧЕ) разряде, вследствие чего возникает направленный поток низкоэнергетических ионов, бомбардирующих поверхность модифицируемого изделия. С помощью голографических измерений продемонстрировано наличие слоя, отличающегося от плазмы ВЧЕ разряда, вокруг обрабатываемого тела. Оптимальным методом измерений был признан метод перезаписи голограмм, суть которого состояла в последовательной регистрации голограмм с использованием восстановленных волн с предыдущей голограммы, благодаря чему коэффициент чувствительности измерений увеличивается. Представлено теоретическое обоснование голографических измерений, а также исследовано влияние потенциалов плазмы, энергий ионов и плотности ионного тока на поверхность обрабатываемого тела. Детально описаны методология экспериментов и измерительное оборудование.

The paper presents a physical description of the formation of a layer of positive charge around the body, during processing in a high-frequency capacitive (HF) discharge, due to which a directed flow of ions arises that bombard the surface of the body being processed. With the help of holographic measurements, the presence of a layer, which differs from the plasma of an RF discharge, is demonstrated around a body placed in an RF plasma. The theoretical substantiation of holographic measurements, plasma potentials, measurements of ion energy and ion current density on the surface of the treated body is presented.