Details

При изготовлении элементной базы микроэлектроники ключевую роль играет фотолитография. Одним из критически сложных элементов фотолитографа является источник экстремального ультрафиолетового излучения. Таким источником может служить специализированный источник синхротронного излучения - технологический накопительный комплекс (ТНК) "Зеленоград", который в течение нескольких ближайших лет предполагается ввести в эксплуатацию. В работе представлены результаты численных расчетов мощности и потоков фотонов из различных источников электромагнитного излучения ТНК "Зеленоград" в контексте возможности его использования для фотолитографии. Рассмотрено синхротронное излучение из поворотных магнитов накопительного кольца ТНК "Зеленоград" при двух значениях энергий электронного пучка: 1,6 и 2,2 ГэВ. Расчеты проведены для узкого спектрального диапазона c длиной волны 13,5 нм и шириной 0,4 нм, а также для широкого диапазона - от 2 до 3 нм. Для этих энергий электронного пучка рассчитаны параметры ондуляторов для генерации ондуляторного излучения с длиной волны 13,5 нм. Расчеты проведены с учетом реальных ограничений технических возможностей ондуляторов: минимально возможный зазор между полюсами ондулятора, максимально возможная намагниченность его магнитных блоков. Для расчетов написаны специальные компьютерные программы. Результаты расчетов интенсивностей генерируемого в ТНК "Зеленоград" синхротронного и ондуляторного излучений позволяют утверждать, что генерируемое излучение может быть эффективно использовано в качестве источника экстремального ультрафиолетового излучения в фотолитографе.

Photolithography plays a key role in production of microelectronic components. One of critically complex elements of photolithograph is the source of the extreme ultraviolet electromagnetic radiation. Such a source could be a specialized source of synchrotron radiation - the technological storage ring complex (TSR) “Zelenograd” expected to be put into operation within the next few years. In this work, the results of numeric calculations of power and photon fluxes from various electromagnetic emitters of TSR “Zelenograd” are presented in the context of the possibility to use it for photolithography. Synchrotron radiation generated in the bending magnets of the TSR “Zelenograd” storage ring is considered at two electron beam energy values: 1.6 and 2.2 GeV. Calculations were carried out for a narrow spectral range with a wavelength of 13.5 nm and width of 0.4 nm, and for a wide spectral range - from 2 to 3 nm. For these electron beam energies the undulator parameters for generation of undulator radiation with a wavelength of 13.5 nm were calculated. Calculations were carried out with consideration to real limitations of undulators’ engineering capabilities: the minimum possible gap between the undulator poles, the maximum magnetization of its magnetic blocks. Special computer codes have been written for such kind of simulations. The results of intensity calculation of synchrotron and undulator radiation generated at TSR “Zelenograd” afford the statement about possibility to effective use its radiation as extreme ultraviolet radiation source in a photolithograph.