Горностай-Польский, В. С. Исследование влияния плазменной обработки на свойства сформированных химическим осаждением из газовой фазы тонких пленок нитрида титана = Investigation of the effect of plasma treatment on the properties of titanium nitride thin films formed by chemical vapor deposition / В. С. Горностай-Польский, В. И. Шевяков. — 1 файл (532 Кб). — (Технологические процессы и маршруты). — DOI 10.24151/1561-5405-2022-27-6-715-722. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2022. – С. 715-722. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/item.asp?id=49993425>.