Пьо Вин Тун. Исследование возможностей повышения чувствительности МЭМС-датчика давления емкостного типа с мембранами различных геометрических форм = Investigation of the possibilities of increasing the sensitivity of a capacitive-type MEMS pressure sensor with membranes of various geometric shapes / Пьо Вин Тун, Б. М. Симонов, С. П. Тимошенков. — 1 файл (769 Кб). — (Микро- и наносистемная техника). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-2-222-231. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 222-231. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/item.asp?id=50767480>.