Галперин, В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов. — 3-е изд. — Москва: Лаборатория знаний, 2015. — 286 с. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=350091>. — <URL:https://ibooks.ru/resize/w188/images/T/978-5-9963-2129-2-01.jpg>. — Текст: электронный
Period | Read | Copy | Open | Total | |
---|---|---|---|---|---|
Yesterday | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
Last 30 days | 0 | 0 | 0 | 3 | 3 |
Last 365 days | 0 | 0 | 0 | 12 | 12 |
All time | 0 | 0 | 0 | 15 | 15 |