Design and manufacturing of active microsystems [Электронный ресурс] / ed.: Stephanus Büttgenbach, Arne Burisch, Jürgen Hesselbach. — Berlin, Heidelberg: Springer, 2011. — (Microtechnology and MEMS). — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-642-12903-2>.
| Period | Read | Copy | Open | Total | |
|---|---|---|---|---|---|
| Yesterday | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Last 30 days | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Last 365 days | 0 | 0 | 0 | 21 | 21 |
| All time | 0 | 0 | 0 | 191 | 191 |