Pierson, Hugh O. Handbook of chemical vapor deposition [Электронный ресурс]: principles, technology and applications / Hugh O. Pierson. — 2nd ed. — Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 1999. — (Materials science and process technology series). — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815514329>.
| Period | Read | Copy | Open | Total | |
|---|---|---|---|---|---|
| Yesterday | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Last 30 days | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Last 365 days | 0 | 0 | 0 | 28 | 28 |
| All time | 0 | 0 | 0 | 52 | 52 |