Handbook of silicon based MEMS materials and technologies [Электронный ресурс] / Veikko Lindroos, Markku Tilli, Ari Lehto and Teruaki Motooka. — Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 2011. — (Micro & Nano Technologies). — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515944>.
| Period | Read | Copy | Open | Total | |
|---|---|---|---|---|---|
| Yesterday | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Last 30 days | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Last 365 days | 0 | 0 | 0 | 44 | 44 |
| All time | 0 | 0 | 0 | 67 | 67 |