Зебрев, Г. И. Физические основы кремниевой наноэлектроники: учебное пособие для вузов / Г. И. Зебрев. — 4-е изд. — Москва: Лаборатория знаний, 2020. — 243 с. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=350197>. — <URL:https://ibooks.ru/resize/w188/images/T/9785001018308_2020.jpg>. — Текст: электронный