Adams, Thomas M. — Introductory MEMS : fabrication and applications [Электронный ресурс] / Thomas M. Adams, Richard A. Layton. — Boston, MA: Springer, 2010. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://link.springer.com/book/10.1007/978-0-387-09511-0>.
| Period | Read | Copy | Open | Total | |
|---|---|---|---|---|---|
| Year 2018 | 0 | 0 | 0 | 9 | 9 |
| Year 2019 | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 |
| Year 2020 | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
| Year 2021 | 0 | 0 | 0 | 4 | 4 |
| Year 2022 | 0 | 0 | 0 | 3 | 3 |
| Year 2023 | 0 | 0 | 0 | 10 | 10 |
| Year 2024 | 0 | 0 | 0 | 19 | 19 |
| Total | 0 | 0 | 0 | 48 | 48 |