Разработка чувствительного элемента микромеханического акселерометра = Development of a sensitive element of a micromechanical accelerometer / Е. С. Кочурина, С. А. Анчутин, В. В. Калугин [и др.]. — 1 файл (496 Кб). — (Микро- и наносистемная техника). — DOI 10.24151/1561-5405-2022-27-1-59-67. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2022. – С. 59-67. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=47983441>.