Управление составом тонких пленок Mo-Si-N-O при реактивном магнетронном распылении = Composition control of Mo-Si-N-O thin films during reactive magnetron sputtering / Д. Г. Громов, С. А. Гаврилов, Е. А. Лебедев [и др.]. — 1 файл (973 Кб). — (Материалы электроники). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-6-745-761. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 745-761. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=55172126>.
| Period | Read | Copy | Open | Total | |
|---|---|---|---|---|---|
| Year 2023 | 0 | 0 | 0 | 6 | 6 |
| Year 2024 | 0 | 0 | 0 | 14 | 14 |
| Total | 0 | 0 | 0 | 20 | 20 |