Моделирование источников рентгеновского излучения для станции фотолитографии на технологическом накопительном комплексе "Зеленоград" = Modeling of x-ray sources for a photolithography station at technological storage ring complex "Zelenograd" / Н. В. Смоляков, Н. В. Марченков, А. М. Лебедев [и др.]. — 1 файл (521 Кб). — (Технологические процессы и маршруты). — DOI 10.24151/1561-5405-2024-29-3-300-309. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2024. – Т. 29, № 3. — С. 300-309. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=67881705>.
| Period | Read | Copy | Open | Total | |
|---|---|---|---|---|---|
| Year 2024 | 0 | 0 | 0 | 12 | 12 |
| Total | 0 | 0 | 0 | 12 | 12 |