Горностай-Польский, В. С. Исследование влияния плазменной обработки на свойства сформированных химическим осаждением из газовой фазы тонких пленок нитрида титана = Investigation of the effect of plasma treatment on the properties of titanium nitride thin films formed by chemical vapor deposition / В. С. Горностай-Польский, В. И. Шевяков. — 1 файл (532 Кб). — (Технологические процессы и маршруты). — DOI 10.24151/1561-5405-2022-27-6-715-722. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2022. – С. 715-722. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/item.asp?id=49993425>.
|
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
|
Year 2023
|
Quarter 2
|
April
|
0
|
0
|
0
|
98
|
98
|
|
May
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
June
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Quarter 3
|
July
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
August
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
September
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
Quarter 4
|
October
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
November
|
0
|
0
|
0
|
4
|
4
|
|
December
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Year 2024
|
Quarter 1
|
January
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
February
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
March
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 2
|
April
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
May
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
June
|
0
|
0
|
0
|
7
|
7
|
|
Quarter 3
|
July
|
0
|
0
|
0
|
4
|
4
|
|
August
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
September
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Total
|
0
|
0
|
0
|
126
|
126
|
