Характеристики и области возможных применений аморфных кремний-углеродных и металл-кремний-углеродных пленок: обзор = Characteristics of amorphous silicon-carbon and metal-silicon-carbon films, areas of possible applications. Review / В. К. Дмитриев, Э. А. Ильичев, Г. Г. Кирпиленко [и др.]. — 1 файл (2,04 Мб). — (Mатериалы электроники). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-1-24-48. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 24-48. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/item.asp?id=50308497>.
|
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
|
Year 2023
|
Quarter 2
|
May
|
0
|
0
|
0
|
4
|
4
|
|
June
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Quarter 3
|
July
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
August
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
September
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
Quarter 4
|
October
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
November
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
December
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Year 2024
|
Quarter 1
|
January
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
February
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
March
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 2
|
April
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
May
|
0
|
0
|
0
|
11
|
11
|
|
June
|
0
|
0
|
0
|
41
|
41
|
|
Total
|
0
|
0
|
0
|
73
|
73
|
