Тимаков, А. В. Многоуровневая металлизация высокотемпературных кремниевых ИС на основе вольфрама. Физика и технология: обзор = Multilevel metallization of high-temperature silicon IС based on tungsten. Physics and technology. Review / А. В. Тимаков, В. С. Горностай-Польский, В. И. Шевяков. — 1 файл (1,11 Мб). — (Технологические процессы и маршруты). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-2-164-179. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 164-179. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/item.asp?id=50767474>.
|
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
|
Year 2023
|
Quarter 2
|
May
|
0
|
0
|
0
|
5
|
5
|
|
June
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 3
|
July
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
August
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
September
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 4
|
October
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
November
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
December
|
0
|
0
|
0
|
5
|
5
|
|
Year 2024
|
Quarter 1
|
January
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
February
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
March
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Quarter 2
|
April
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
May
|
0
|
0
|
0
|
11
|
11
|
|
June
|
0
|
0
|
0
|
61
|
61
|
|
Quarter 3
|
July
|
0
|
0
|
0
|
42
|
42
|
|
Total
|
0
|
0
|
0
|
132
|
132
|
