Пьо Вин Тун. Исследование возможностей повышения чувствительности МЭМС-датчика давления емкостного типа с мембранами различных геометрических форм = Investigation of the possibilities of increasing the sensitivity of a capacitive-type MEMS pressure sensor with membranes of various geometric shapes / Пьо Вин Тун, Б. М. Симонов, С. П. Тимошенков. — 1 файл (769 Кб). — (Микро- и наносистемная техника). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-2-222-231. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 222-231. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/item.asp?id=50767480>.
|
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
|
Year 2023
|
Quarter 2
|
May
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
June
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Quarter 3
|
July
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
August
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
September
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 4
|
October
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
November
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
December
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
Year 2024
|
Quarter 1
|
January
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
February
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
March
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 2
|
April
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
May
|
0
|
0
|
0
|
6
|
6
|
|
June
|
0
|
0
|
0
|
47
|
47
|
|
Quarter 3
|
July
|
0
|
0
|
0
|
37
|
37
|
|
Total
|
0
|
0
|
0
|
101
|
101
|
