Нелюбин, И. В. Особенности контроля трехмерного профиля элементов и структур наноразмерных ИС.: обзор = Features of three-dimensional profile control of elements and structures of nanoscaled ICs. Review / И. В. Нелюбин, М. Г. Путря. — 1 файл (1,84 Мб). — (Технологические процессы и маршруты). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-3-298-325. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 298-325. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54011392>.
|
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
|
Year 2023
|
Quarter 2
|
June
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
Quarter 3
|
July
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
August
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
September
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 4
|
October
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
November
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
December
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Year 2024
|
Quarter 1
|
January
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
February
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
March
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 2
|
April
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
May
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
June
|
0
|
0
|
0
|
26
|
26
|
|
Quarter 3
|
July
|
0
|
0
|
0
|
51
|
51
|
|
August
|
0
|
0
|
0
|
6
|
6
|
|
September
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Total
|
0
|
0
|
0
|
93
|
93
|
