Духопельников, Д. В. Магнетронные распылительные системы: учебное пособие. 1. Устройство, принципы работы, применение / Д. В. Духопельников; Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана. — Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014. — 56 с.: ил., схем., табл. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=258467>. — Текст: электронный
|
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
|
Year 2021
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Year 2022
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Year 2023
|
0
|
0
|
0
|
8
|
8
|
|
Year 2024
|
0
|
0
|
0
|
5
|
5
|
|
Total
|
0
|
0
|
0
|
16
|
16
|
