Галперин, В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов. — 3-е изд. — Москва: Лаборатория знаний, 2015. — 286 с. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=350091>. — <URL:https://ibooks.ru/resize/w188/images/T/978-5-9963-2129-2-01.jpg>. — Текст: электронный
|
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
|
Yesterday
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Last 30 days
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Last 365 days
|
0
|
0
|
0
|
5
|
5
|
|
All time
|
0
|
0
|
0
|
7
|
7
|
